Recycling for PSS wafer and SiC parts

Sapphire Wafer Appilcation :2”,4”,6”Epi-ready & PSS wafer;

Merits:No wafer thickness decreasing and complete pattern

Reused for obvious cost down.

SiC Parts application:MOCVD AIX G3,G4,G5 series,Veeco K465 

and so on.

Merits:GaN entirely cleaned and No damage on parts surface 

(graphite+SiC coating) to Lengthen the life time.

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